微机械制造技术
2010-10-29 20:21
在机械装置的小型化过程中出现两类机械,即小型机械和微型机械。可以这样划分:10mm~1mm为小型机械,用精密加工的方法可以制造出来;1mm~1um为微型机械,需要用硅微加工技术或LIGA技术等微细加工方法才能制造出来;1um~1nm为纳米机械,是分子级的
零件,需采用生物工程的方法制造。
微型机械不是传统机械的简单微型化,而是指集微型机构、微型传动器以及信号处理和控制电路,甚至外围接口电路、通讯电路和电源等于一体的微型机电系统。因此,微型机械远远超出了传统机械的概念和范畴,是基于现代科学技术,用崭新的思维方法指导的产物。